在半导体制造设备中，零部件的性能直接影响晶圆加工精度和设备运行稳定性。随着国内半导体产业链的持续完善，先进陶瓷结构件正逐渐成为实现关键部件国产替代的重要方向。
芯片生产
与传统金属材料相比，先进陶瓷具有高硬度、高刚性、耐腐蚀、耐高温、绝缘性能优异等特点，能够适应半导体制造过程中复杂的真空、等离子体及高洁净环境要求。
氧化铝陶瓷
例如在晶圆传输、真空吸附、刻蚀加工等工艺环节中，陶瓷真空吸盘、静电吸盘、陶瓷机械手臂、陶瓷导轨及陶瓷方梁等产品被广泛应用。其优异的尺寸稳定性能够有效降低设备运行过程中的热变形，提高晶圆定位精度和加工一致性。
陶瓷吸盘
陶瓷手臂
作为先进陶瓷领域的专业制造企业，深圳方泰新材料集研发、制造与销售于一体，在深圳及东莞建立现代化生产基地。公司拥有材料研发、产品设计、精密加工及质量管理团队，并配备喷雾造粒、等静压成型、高温烧结、精密磨削及CNC加工等完整制造体系。
生产车间
同时，公司引进三坐标测量仪、圆柱度仪、粗糙度仪等高精度检测设备，从材料到成品实施全过程质量控制，为半导体设备厂商提供高性能先进陶瓷零部件解决方案。
三次元检测
随着国产高端装备的发展，先进陶瓷结构件正迎来更广阔的应用空间，也将成为推动半导体设备国产化升级的重要力量。返回搜狐，查看更多